一种多模干涉型全晶体波导分束器的制备方法

摘要

本发明提供一种多模干涉型全晶体波导分束器的制备方法，属于集成光子学器件制备技术领域，采用离子注入结合飞秒激光刻写或精密机械切割的技术制备多模干涉型波导分束器。其特点及优势主要包括：1.制备工艺简单，对加工精度要求较低；2.损耗小；3.结构紧凑，易于集成；4.适用材料范围广，易于推广。