公开/公告号CN112036415A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-04
原文格式PDF
申请/专利权人 常州机电职业技术学院;
申请/专利号CN202010811927.9
申请日2020-08-13
分类号G06K9/42(20060101);G06K9/62(20060101);G06N3/04(20060101);G06N3/08(20060101);G01D5/353(20060101);
代理机构23211 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司;
代理人刘景祥
地址 213164 江苏省常州市武进区鸣新中路26号
入库时间 2023-06-19 09:06:00
机译: 干涉测量相位掩模的装置,例如用于光刻,通过沿X-Y方向平移相干掩模和/或衍射光栅,产生要在相掩模上施加的相移干涉图
机译: 一种具有粒子流干涉图相位编码的量子消息加密方法,该编码转换数字数据序列以产生干涉图,并利用第k个周期与比特值之间的关系。
机译: PSM一种用于测量相移掩模的相位的设备以及使用该设备测量相位的方法