利用小波变换从单帧干涉图提取微透镜阵列的三维结构信息

摘要

微透镜阵列的形状和特征尺寸决定了其光学特性,对微光学透镜的三维结构特征尺寸进行精确快速的测量至关重要.从具有放大系统的Mach-Zehnder干涉仪获得的微透镜阵列的单帧干涉图,利用小波变换提取了微透镜阵列的三维形状和特征尺寸,测量结果与原子力显微镜测量结果非常吻合.该方法具有大测量范围、无损伤和快速的优点。