具有可再生性能的静电卡盘及其成型方法

摘要

本发明揭示了具有可再生性能的静电卡盘及其成型方法，具有可再生性能的静电卡盘包括底座、设于底座顶部的绝缘层、设于绝缘层顶部的介电层、夹持内嵌设于绝缘层和介电层之间的电极层、以及设于介电层表面的由类金刚石薄膜制成的若干凸台；若干凸台沿介电层圆心呈数个不同直径环绕的圆形间断分布，介电层表面设有若干沿其不同直径方向分布的冷却槽，若干凸台的表面架置设有晶圆基板。本发明实现了抑制晶圆与介电层直接接触产生的磨耗，抑制微粒的产生。