一种碳化外延层厚度的共聚焦拉曼光谱深度检测方法

摘要

本发明涉及一种碳化外延层厚度的共聚焦拉曼光谱深度检测方法，所采用的测量仪器为共聚焦拉曼光谱仪，包含以下步骤：设置共聚焦针孔或狭缝的直径或宽度≤200μm，保证共聚焦拉曼光谱仪的Z向空间分辨能力；选择40‑60倍长工作距离物镜，设置光谱扫描范围覆盖碳化硅的LOPC峰；聚焦碳化硅样品表面，调整样品台位置Z直到表面清晰且激光光斑最小；获得不同深度的拉曼光谱；对不同深度的拉曼光谱中LOPC峰按照如下高斯‑洛伦兹拟合公式进行峰型拟合；得到样品外延层的厚度。