共焦点顕微鏡·ラマン分光複合装置による加工面評価に関する研究－ラマン分光における複数励起波長選択による深さ方向の評価

摘要

顕微ラマン分光法は結晶性や応力を非破壊で簡便に測定できる手法として，広く利用されてきた．機械加工によって生じる加工面表層部に形成される加工変質層の評価への適用例もあり，特にシリコン単結晶の超精密加工面の加工変質層の評価は閻らによって活発に進められてきている．今回，加工変質層の深さ方向の評価を確立することを目的とし，複数の励起光によるラマン分光法システムを構築した．本システムを用いてシリコン単結晶における切削面の評価を試みた．