一种TCO与SiNx结合增加太阳能电池减反射膜层

摘要

本发明公开了一种TCO与SiNx结合增加太阳能电池减反射膜层，包括在多晶硅层表面增加透明导电膜，所述透明导电膜为铝掺杂的氧化锌薄膜，所述透明导电膜厚度控制在3‑60nm范围，所述透明导电膜增加在掺磷多晶硅和氮化硅层中间，透明导电膜具有良好的导电性能，在氮化硅与n型poly‑Si之间先沉积一层透明导电膜，既可以增强多晶硅层的横向传导能力，又能够保护掺杂多晶硅不被导电浆料烧穿，不影响多晶硅的钝化性能。