公开/公告号CN111928951A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-13
原文格式PDF
申请/专利权人 中国计量科学研究院;
申请/专利号CN202010799098.7
申请日2020-08-11
分类号G01J5/00(20060101);
代理机构11588 北京华仁联合知识产权代理有限公司;
代理人陈建
地址 100013 北京市朝阳区北三环东路18号
入库时间 2023-06-19 08:53:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-30
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01J 5/00 专利申请号:2020107990987 申请公布日:20201113
发明专利申请公布后的驳回
机译: 一种用于保护辐射源中的光学元件以用于具有在极紫外(XUV)辐射源和波长范围内的波长的电磁辐射的方法。
机译: 一种基于辐射等离子体产生极紫外辐射的方法
机译: 一种基于辐射等离子体产生极紫外辐射的方法