首页> 外国专利> A method for protecting an optical element in a radiation source for electromagnetic radiation having a wavelength in the extreme ultraviolet (XUV) radiation source and wavelength range.

A method for protecting an optical element in a radiation source for electromagnetic radiation having a wavelength in the extreme ultraviolet (XUV) radiation source and wavelength range.

机译:一种用于保护辐射源中的光学元件以用于具有在极紫外(XUV)辐射源和波长范围内的波长的电磁辐射的方法。

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