具有微腔结构的分布式反馈激光器及制备方法

摘要

本发明实施例提供一种具有微腔结构的分布式反馈激光器及制备方法，分布式反馈激光器包括P电极、P掺杂层、量子阱有源层、N掺杂层和N电极；P电极两侧分别设置有一个空气微孔波导阵列，空气微孔波导阵列由按照第一预设排布结构排布的多个第一空气微孔形成，每个第一空气微孔均贯穿P掺杂层、量子阱有源层和N掺杂层并在衬底上表面截止；分布式反馈激光器还包括微腔结构，微腔结构设置在P电极的正下方，微腔结构由按照第二预设排布结构排布的多个第二空气微孔形成，每个第二空气微孔均贯穿P掺杂层、量子阱有源层和N掺杂层，并在衬底上表面截止。本发明实施例利用光子晶体慢光效应设计超短激光谐振腔，从而降低芯片体积，提高芯片可集成性能。