基于导模共振的透明导电氧化物光透过率可调多层超表面

摘要

本发明公开了一种基于导模共振的透明导电氧化物光透过率可调多层超表面，其特征在于，由下至上包括基底层、n个导模共振超表面层和n‑1个介质层，其中相邻两导模共振超表面层之间填充一介质层；导模共振超表面层包括硅介质平板(7)，硅介质平板(7)上周期性刻蚀出凹槽，凹槽深度与硅介质平板(7)厚度相同，每一凹槽内两侧填充介质层(8)、中间填充透明导电氧化物层(9)；每一硅介质平板(7)均设有第一电极，每一透明导电氧化物层(9)均设有第二电极；n为大于或等于2的整数。本发明在导模共振原理的基础上提供了更高的设计自由度，可以用于更加复杂的光学操控，在未来光器件集成领域具有广阔的应用前景。