微观作用力测量系统及其接触零点和表面性质的判别方法

摘要

本发明公开了一种微观作用力测量系统及其接触零点和表面性质的判别方法，该测量系统包括传感模块、光学感测模块、解调光路模块、信号调理模块、上位机模块和纳米级精度微位移驱动模块，能实现对微米尺度内界面微观相互作用力的测量；本方法结合界面微观相互作用力相关性质，可以简单、快速、高精度地评估探针微球与被测表面的接触零点的位置，从而可获得更准确的微纳测量系统的预行程变化量信息；此外通过对不同材料的被测表面及不同特征尺寸的探针微球的界面微观相互作用力进行测量，从而获得力‑分离位移曲线，并进行相关处理，可获得被测表面的表面性质。