用于持续确定薄膜的电阻张量的所有分量的方法

摘要

本发明涉及用于持续确定薄膜(例如各种类型的薄膜电阻器和薄膜传感器)的电阻张量的所有分量的方法。本发明提供了用于持续确定薄膜(例如各种类型的薄膜电阻器和薄膜传感器)的电阻张量的所有分量的方法，其中使用最少数量的触点对薄膜的电阻张量的所有分量进行持续确定，无需对触点进行切换。这在任意形状的均匀薄膜部分(T)中具有至少三个彼此相隔一定距离地布置的触点(Ki至K3)中得以实现。输入电压Ui(t)施加在每个触点(K1至K3)上，检测到流经触点(K1至K3)的电流Ii(t)，并且通过电压和电流值确定薄膜部分(T)的全部电阻张量ρ。