Автоматизований програмно-апаратний комплекс для дослідження тензорезистивних властивостей наноструктурованих плівкових матеріалів у магнітному полі

摘要

Розроблена автоматизована система, що дозволяє осаджувати плівкові матеріали у герметичному об’ємі вакуумної системи та досліджувати їх тензорезистивні характеристики без розгерметизації робочого об’єму. Експериментальний пристрій знаходиться у вакуумній камері та під'єднаний безпосередньо до електромережі установки ВУП-5М. Корпус виконано з немагнітних матеріалів, які не вступають в реакцію та стійкі до умов проведення дослідження. Система дозволяє конденсувати одночасно три двокомпонентних тонкоплівкових зразка з різними товщинами. Модулі керування мінімізують необхідне людське втручання в процес та дають змогу проводити експеримент без розгерметизації робочого об’єму установки.