一种多电极真空弧离子源

摘要

本发明实施例提供了一种多电极真空弧离子源，包括多个相同的单电极；单电极包括：阴极、绝缘套筒、阳极和阳极绝缘层；阴极为一端具有凸起结构的圆柱，其中，具有凸起结构的一端为放电端，另一端为平面端；阴极表面包裹有绝缘套筒，且绝缘套筒内壁与阴极表面紧密接触；阳极固定于绝缘套筒上，且阳极内表面与绝缘套筒外表面相接触，阳极的外表面由阳极绝缘层包裹；多个阴极的非放电端均连接同一个放电电源的负高压端子，多个阳极均接地。本发明基于绝缘阳极结构实现了在一个电源下多个电极同时放电，增大了阴极电流幅值，提高了等离子体的生成量，丰富了金属离子的种类。