金属氢化物真空弧离子源电极表面模拟研究

摘要

金属氢化物做电极，放电产生的等离子体当中，不仅存在氢相关粒子，同时存在大量来自电极的金属材料粒子。关注放电过程中电极表面金属原子蒸发和氢释放的情况，对于提高离子源放电的氢离子比具有很大意义。通过物理建模的方式，对电弧放电过程中电极表面过程进行描述，探索金属原子蒸发和氢释放的影响因素，对于指导改进离子源设计，提高放电效率意义重大。