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摘要
第一章 引言
1.1 离子源及其发展简介
1.2 真空弧离子源及其发展简介
1.3 真空弧离子源的国内外研究现状
1.3.1 真空弧放电阴极斑模型
1.3.2 真空弧放电离子扩散速度理论及实验
1.3.3 真空弧离子源放电等离子体参数诊断
1.4 离子源结构及等离子体区域划分
1.4.1 离子源结构及其工作方式
1.4.2 离子源的等离子体区域划分
1.5 论文主要内容
第二章 诊断方法和计算模型
2.1 静电探针诊断原理
2.1.1 单探针诊断原理
2.1.2 双探针诊断原理
2.2 光谱诊断原理
2.2.1 等离子体光谱产生机制
2.2.2 谱线展宽
2.2.3 电子温度测量
2.2.4 电子密度测量
2.3 冻结模型
2.3.1 模型概述
2.3.2 修正的多成分沙哈方程组
第三章 探针诊断及结果
3.1 探针诊断实验平台
3.2 偏压平板诊断
3.2.1 实验布局与诊断方法
3.2.2 数据赵理与结果分析
3.3 单探针诊断
3.3.1 实验布局与诊断方法
3.3.2 数据处理与结果分析
3.4 双探针诊断
3.4.1 实验布局与诊断方法
3.4.2 数据处理与结果分析
3.5 探针诊断小结
第四章 光谱诊断及结果
4.1 光谱诊断实验平台
4.2 光谱诊断数据处理与结果分析
4.2.1 系统的响应系数标定
4.2.2 电子温度计算分析
4.2.3 电子密度计算分析
4.2.4 电子温度与电子密度随弧流变化规律
4.3 光谱诊断小结
第五章 冻结模型计算结果
5.1 修正的多成分沙哈方程组解法
5.2 计算结果
5.2.1 电荷态分布计算结果
5.2.2 电子温度对离子平均电荷态的影响
5.2.3 实验CSD与模型计算校核结果
5.3 冻结模型计算小结
总结
致谢
参考文献
硕士研究生期间发表文章
硕士研究生期间参加学术活动情况