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公开/公告号CN111830281A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-27
原文格式PDF
申请/专利权人 华中科技大学;
申请/专利号CN202010697612.6
发明设计人 李城鑫;赵纯;
申请日2020-07-20
分类号G01P15/02(20130101);B81B7/02(20060101);
代理机构42267 武汉华之喻知识产权代理有限公司;
代理人廖盈春;曹葆青
地址 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
入库时间 2023-06-19 08:41:05
机译: MEMS传感器,MEMS传感器系统以及制造MEMS传感器系统的方法
机译: MEMS MEMS MEMS传感器模块和MEMS传感器封装模块
机译:两音调驱动下非线性谐振器中的脉宽调制振荡作为MEMS传感器读数的一种方式
机译:过程自动化差压和压力变送器:从MEMS传感器到安全标准相应的发射器:MEMS传感器到安全标准相应的发射器:MEMS传感器到安全标准支持变送器
机译:使用MEMS传感器进行位移测量:加速度计,陀螺仪和磁力计
机译:基于MEMS传感器网络和加速度计与陀螺仪融合的虚拟键盘
机译:面向最终MEMS传感器的新型传感方法
机译:基于MET / MEMS传感器组合的低噪声直流地震加速度计
机译:基于mET / mEms传感器组合的低噪声直流地震加速度计
机译:分子印迹聚合物(mIp) - 用于化学检测的微束mEms传感器。