均压槽复合节流气体静压导轨及气模刚度分析方法

摘要

本发明公开了一种均压槽复合节流气体静压导轨及气模刚度分析方法。在气体静压导轨气浮滑块内开设有若干个双排节流孔，并在节流孔出口处开设若干个彼此联通的均压槽，与气浮滑块配合的基座工作面为光滑的平面。均压槽起着二次均压及节流的作用。本发明能显著增大轴承气膜间隙的压力分布，扩大高压区面积，可以有效地提高空气轴承的承载力和刚度。同时，有效抑制了流场区域的压降，可以节省气体流量，从而提高高压气体的利用率。