一种碳化硅晶体的籽晶及碳化硅晶体的制造方法

摘要

本发明公开了一种碳化硅晶体的籽晶及碳化硅晶体的制造方法，所述碳化硅晶体的籽晶碳面()上具有周期性排列的凹腔结构，所述凹腔结构包括多个侧壁，所述多个侧壁中至少一个侧壁的法向和所述碳化硅晶体C向[0001]之间具有50~65°的预设夹角。根据本发明提供的碳化硅晶体的籽晶结构保证了其在生长过程降低或避免晶体C向[0001]带来的晶体缺陷增殖和继承籽晶缺陷，此外，还达到了增加晶体生长速度同时保证晶体的利用率的效果。