基于2T3R型柔性运动副的微定位平台

摘要

本发明提供了基于2T3R型柔性运动副的微定位平台，其有效减少了应力刚化效应、平台的运动耦合及伴生转动的影响，提高平台的定位精度。其包括基座、动平台、第一柔性支链、第二柔性支链以及驱动器，第一柔性支链包括柔性模块一、连接杆、柔性模块二，柔性模块一包括中部刚性连接部和簧片，柔性模块二与动平台连接；第二柔性支链包括柔性模块三、连接杆、柔性模块二，柔性模块三包括中心刚性连接部和簧片，连接杆一端与中心刚性连接部连接，另一端与柔性模块二连接，柔性模块二与动平台连接；柔性模块二包括呈刚性连接框、柔性杆、刚性连接块一和刚性连接块二。