一种适用于半导体级单晶硅长晶炉的加热器及组装方法

摘要

本发明公开了一种适用于半导体级单晶硅长晶炉的加热器，包括：石墨环、安装在石墨环上的若干石墨杆、安装在若干石墨杆上的石墨电极盘、安装在石墨电极盘上的两个石墨电极、石墨螺钉、若干石墨螺帽。本发明采用石墨杆和石墨环的连接方式代替了整块石墨的电极，大幅度节省了加热器的材料，可有效降低加热器成本。同时，石墨电极是从上方进入热场，避免了挥发物落在石墨电极处，有效避免了打火的发生。本发明同时提供了该加热器的组装方法。