超导横向磁场在大尺寸半导体级单晶硅长晶中的应用

摘要

随着半导体行业的发展,传统的Cusp磁场(勾型磁场)由于其耗能大,磁场强度低(4000GS),能够有效抑制硅液的纵向流动,对提高长晶的成功率,降低晶体的氧含量有着显著的作用。通过实验,采用超导磁场用于32寸坩埚长晶,能够将晶体氧含量降低到5*1017atom/cc,能够有效降低氧含量,提高晶体质量。