提高原子力显微镜非接触模式TERS信号的方法及装置

摘要

本发明涉及一种提高原子力显微镜非接触模式TERS信号的方法及装置，所述装置包括：原子力显微镜探针、样品扫描台、物镜系统、分光器件、光束调整系统、激发光源、拉曼光谱系统、原子力显微镜控制系统；所述方法包括：S1：将直接照射探针针尖的光束进行入射方向的调整，使光束先照射到探针的悬臂梁表面，经过悬臂梁反射后光束再照射探针尖端；S2：对光束发散角进行控制，使探针在接触到基底表面时光束聚焦到探针尖端；S3：调整聚焦光斑的偏振态，使沿探针轴向方向的偏振分量最大。本发明利用原子力显微镜探针悬臂梁作为反射镜，动态调整激发光聚焦位置，可实现在非接触工作模式下提高针尖局域增强拉曼散射信号。