一种锌掺杂氧化锡透明导电薄膜及其制备方法和用途

摘要

本发明涉及一种锌掺杂氧化锡透明导电薄膜及其制备方法和用途，所述锌掺杂氧化锡透明导电薄膜中Zn掺杂浓度为0～12at％，不包括0at％，所述锌掺杂氧化锡透明导电薄膜的制备方法为金属有机化学气相沉积方法。本发明所述锌掺杂氧化锡透明导电薄膜选用常见易得的锌作为掺杂元素，不仅可以解决现有透明导电薄膜用于掺杂的元素所存在的毒性和稀有性等问题，还具有较低的电阻率和面电阻、较高的载流子浓度和电子迁移率、优异的热稳定性和耐酸腐蚀的化学稳定性、可见‑中红外区域高透光率等优点，尤其可以解决现有氧化铟锡透明导电薄膜所存在的热稳定性与耐酸性不足的问题。此外，本发明所述制备方法操作简单，原材料成本低，适合大规模推广。