一种3D-SIP射频微系统的翅片型微流道设计方法

摘要

一种3D‑SIP射频微系统的翅片型微流道设计方法，先进行设计区域的离散，根据实际工况与达西流引入的渗透率和导热率进行有限元模型的初始化，根据达西流模型和对流扩散方程进行有限元分析，再利用得到的物理场信息计算目标函数，约束函数以及约束函数对设计变量的灵敏度，在MMA算法更新下不停迭代，直到同时满足在设计过程中允许的最大流体体积占比值v0和在设计过程中允许的最大出入口处压力差ΔPlimit，或迭代次数达到设定的最大迭代次数loopmax，本发明不依赖设计经验，能在设计阶段采用达西流模型，通过有限元的方法计算近似的设计域物理场参数，获得芯片液冷装置的性能参数，提高了设计可靠性，具有更高设计效率，更优设计结果，同时降低了设计成本。