一种BAW体声波谐振器及其制备方法、滤波器

摘要

本发明公开了一种BAW体声波谐振器，所述BAW体声波谐振器包括基板以及从下到上依次分布设于基底上的下声反射层、压电叠层和上声反射层；其中，所述基底为包括位于中间的凹槽部分和位于周缘的凸起部分组成的圆台结构；下声反射层位于基底的上方，并与基底的凹槽之间形成空气腔；将下声反射层、上声反射层均为带有缓坡的圆台结构形成位于中间的工作区域以及位于周缘的非工作区域；当压电薄膜在工作中产生的热量通过下声反射层位于周缘的非工作区域传递到基底并散发出去，大大提高BAW体声波谐振器的散热性能。本发明提供了一种BAW体声波谐振器的制备方法和滤波器。