一种薄膜体声波谐振器、制备方法和薄膜体声波滤波器

摘要

本发明涉及一种薄膜体声波谐振器、制备方法和薄膜体声波滤波器，薄膜体声波谐振器包括：依次层叠设置的图形化后的第二电极层、图形化后的压电层、图形化后的第一电极层和衬底；衬底上布设多个散热盲孔，每个散热盲孔内填充有导热散热材料，并在每个散热盲孔内的导热散热材料的上方填充高阻材料，形成全反射结构，图形化后的第一电极层覆设在所有散热盲孔的开口上。在衬底上进行全反射结构的制备，并在每个散热盲孔内填充导热散热材料和高阻材料，使本申请的一种薄膜体声波谐振器，在维持原本高Q值的同时，还解决传统薄膜体声波谐振器因导散热能力不足而产生的温度影响，且结构可靠性强，利于集成，制备工艺简单。