机译:用于体声波(BAW)谐振器的压电AlN薄膜
Aln; Bulk acoustic wave; Resonator; Filters; Deposition;
机译:8 GHz范围的AlN薄膜体声波(BAW)谐振器中的剪切模式耦合和特性色散
机译:Mg和Zr共掺杂对体声波谐振器压电AlN薄膜的影响
机译:ZnO薄膜的光学和结构表征以及通过堆叠由电子束蒸发和射频磁控溅射技术制成的ZnO薄层来实现气体传感器的体声波谐振器(BAW)的制造
机译:薄膜体声波谐振器中AlN薄膜的纳米机械和压电特性的表征
机译:AlN薄膜体声波谐振器的制作与表征。
机译:基于倾斜c轴AlN膜的剪切模式体声谐振器监测人体止血参数
机译:AlN薄膜体声波谐振器的制作与表征
机译:微型薄膜BaW(体声波)谐振器及滤波技术的发展进展。