电极慢波结构、具有慢波结构的电极组件及电光调制器

摘要

本文公开了电极慢波结构、具有慢波结构的电极组件及电光调制器。电极慢波结构包括相互平行且非等电势的第一主电极和第二主电极，以及分别设置在第一主电极和第二主电极上的多个正T型和倒T型枝节电极；正T型枝节电极上的第一纵向枝节电极的一端与第一主电极垂直连接，另一端与第一横向枝节电极垂直连接；倒T型枝节电极上的第二纵向枝节电极的一端与第二主电极垂直连接，另一端与第二横向枝节电极垂直连接；第一横向枝节电极的一部分与相邻的第二横向枝节电极的一部分相对设置，第一纵向枝节电极和第二纵向枝节电极的长度均大于d/2，d是第一主电极与第二主电极之间的间距。本文的技术方案能够增大电极结构的电容调整范围，减小电极尺寸。