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公开/公告号CN111653662A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-11
原文格式PDF
申请/专利权人 上海大学;
申请/专利号CN202010417769.9
发明设计人 骆军;程世文;吴立华;张继业;王晨阳;
申请日2020-05-18
分类号H01L35/16(20060101);H01L35/34(20060101);C01B19/00(20060101);
代理机构31205 上海上大专利事务所(普通合伙);
代理人顾勇华
地址 200444 上海市宝山区上大路99号
入库时间 2023-06-19 08:14:27
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