法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-24
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L41/18 专利申请号:2020107001246 申请公布日:20200908
发明专利申请公布后的驳回
机译: 压电薄膜,压电材料以及利用压电薄膜的压电薄膜和压电材料的制造方法,压电谐振器,执行器元件以及物理传感器
机译: 压电薄膜,压电材料,压电薄膜和压电材料的制造方法,压电谐振器,致动器元件和使用压电薄膜的物理传感器
机译: 压电薄膜,压电材料,压电薄膜和压电材料的制造方法,以及使用压电薄膜的压电,致动器元件和物理传感器