一种约瑟夫森行波放大器及其制备方法

摘要

本申请公开一种约瑟夫森行波放大器及其制备方法。所述约瑟夫森行波放大器包括两层金属层和中间介质层；第一金属层为铝薄膜，使用紫外光刻制备电容的下面板、电感和地平面；第二金属层使用双角度蒸发制备约瑟夫森结和电容的上面板；中间介质层使用单原子层沉积生长的氧化铝薄膜，完全覆盖第一金属层；多个约瑟夫森结构成传输线，传输线两端分别构成约瑟夫森行波放大器输入端口和输出端口；每个约瑟夫森结之间用平板电容与地连接，并在传输线弯折处采用共面波导线连接。采用本申请提供的约瑟夫森行波放大器能够减少材料损耗，简化制备工艺，提高器件制备的成品率。