公开/公告号CN111613531A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-01
原文格式PDF
申请/专利权人 西安微电子技术研究所;
申请/专利号CN202010456314.8
申请日2020-05-26
分类号H01L21/329(20060101);H01L21/225(20060101);H01L29/861(20060101);H01L29/868(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人李红霖
地址 710065 陕西省西安市雁塔区太白南路198号
入库时间 2023-06-19 08:08:08
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