一种激光位移传感器热误差测量系统及热误差测量方法

摘要

本发明涉及一种激光位移传感器热误差测量系统及热误差测量方法，热误差测量系统包括恒温箱，恒温箱内设置有用于相应激光位移传感器安装的传感器安装座，恒温箱内设置有工作台面，激光位移传感器热误差测量系统还包括多个等厚的用于彼此在厚度方向上接触叠放于所述工作台面上且能够单独移开的标准块，标准块的厚度方向两个侧面平行设置，标准块的其中一个厚度方向侧面用于被激光位移传感器所发出的测量激光垂直照射。本发明提供了一种在设定温度下，能够对激光位移传感器量程范围内的热误差进行测量的激光位移传感器热误差测量系统及使用该激光位移传感器热误差测量系统的热误差测量方法。