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公开/公告号CN109103070A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-28
原文格式PDF
申请/专利权人 北京大学;
申请/专利号CN201810801132.2
发明设计人 杨学林;沈波;沈剑飞;张洁;冯玉霞;许福军;王新强;唐宁;
申请日2018-07-20
分类号H01L21/02(20060101);
代理机构11360 北京万象新悦知识产权代理有限公司;
代理人李稚婷
地址 100871 北京市海淀区颐和园路5号
入库时间 2023-06-19 07:57:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20180720
实质审查的生效
2018-12-28
公开
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