一种微小电路内部气氛检测校准器

摘要

本发明提出一种微小电路内部气氛检测校准器，属于电子产品可靠性与环境试验技术领域。本发明包括基座、活塞杆和滑盖，所述基座为长方体结构，基座的中心位置自上而下开有连通的第一活塞杆孔和储气孔，第一活塞杆孔的直径大于储气孔的直径；所述基座上还开有两个进气孔，且两个进气孔均与第一活塞孔连通；所述滑盖设置在基座的底面，用于密封储气孔的孔口；所述活塞杆活动设置在第一活塞杆孔内。使用本发明中的校准器可以对小于0.01cc的微小腔体直接进行校准，极大地提高了微小腔体(＜0.01cc)电路内部气氛检测试验中的校准精度，从而提高了微小腔体电路内部气氛检测结果的准确性和稳定性。