用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构

摘要

本发明涉及质量与可靠性领域、检测技术研究领域，特别涉及一种用于微小腔体电路内部气氛检测结果比对的双腔结构，包括管壳和盖板，管壳使用间隔板隔断分离形成第一腔体和第二腔体，间隔板与外壁等高，且第一腔体与第二腔体共用一块盖板，所述管壳采用平行缝焊管壳，其形状为长方体，所述第一腔体的体积为0.001立方厘米～0.01立方厘米，第二腔体的体积为0.1立方厘米～4.0立方厘米；本发明方法的双腔结构可以对小于0.01立方厘米的微小腔体内部气氛检测结果进行准确比对，可以极大地提高微小腔体电路内部气氛检测结果的准确性和稳定性。