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混合集成电路内部气氛研究

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本文介绍了混合集成电路内部气氛控制办法.文章从截断气氛来源入手,从材料的选用、工艺参数的设置、工艺过程的控制等三方面进行了分析,在控制混合电路内部气氛上取得了明显效果.

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来源
《第十四届全国混合集成电路学术会议》|2005年|291-296|共6页
会议地点安徽黄山
作者
肖玲;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类混合集成电路;
关键词
集成电路; 电路封装; 内部气氛; 水汽含量;
入库时间 2022-08-17 10:49:39

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