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质量管理装置、质量管理方法及质量管理程序

摘要

质量管理装置(20)具有:回归分析部(33),其根据从前道工序取得的测定值及从后道工序取得的比较用测定值计算回归式;余量判定部(34),其将规定该前道工序中的判定基准范围的判定基准值代入到该回归式的解释变量中计算预测值,将该预测值与后道工序中的比较用判定基准范围进行比较,判定测定值是否被容许;以及基准值计算部(35),其根据该判定结果计算应替代判定基准值的新的判定基准值。

著录项

  • 公开/公告号CN109074051A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-12-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三菱电机株式会社;

    申请/专利号CN201680081876.0

  • 申请日2016-03-28

  • 分类号G05B19/418(20060101);H01L21/02(20060101);H01L21/66(20060101);

  • 代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;

  • 代理人邓毅;龚晓娟

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2023-06-19 07:51:04

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-01-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):G05B19/418 申请日:20160328

    实质审查的生效

  • 2018-12-21

    公开

    公开

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