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公开/公告号CN109074051A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-21
原文格式PDF
申请/专利权人 三菱电机株式会社;
申请/专利号CN201680081876.0
发明设计人 上田宜史;今村诚;中村隆显;平井规郎;
申请日2016-03-28
分类号G05B19/418(20060101);H01L21/02(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人邓毅;龚晓娟
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 07:51:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B19/418 申请日:20160328
实质审查的生效
2018-12-21
公开
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