一种二甲基硅油表面磁控溅射沉积氮化钛的方法

摘要

本发明属于磁控溅射技术，具体涉及一种二甲基硅油表面磁控溅射沉积氮化钛的方法。其特征在于按如下步骤进行：步骤1、溅射前处理；步骤2、溅射镀膜参数调节；步骤3、真空室内剥离薄膜；步骤3、关机取样。本发明有益效果：通过本方法，对二甲基硅油表面磁控溅射沉过程控制简单，薄膜厚度可控，无氮化钛褶皱形成。