一种基于空间光调制器的高精度微位移测量方法和系统

摘要

本发明属于光学测量技术领域，具体涉及一种基于空间光调制器的高精度微位移测量方法和系统，通过引入空间光调制器，通过空间光调制器将位移引起的条纹变化返回到零，由干涉条纹变化值推知物体的位移量，实现高精度测量位移；本发明相比于在位移测量中采用PZT等机械器件驱动反射镜调制相位方式，在位移测量过程中，相位调制无机械操作，避免了传统方案中机械运动引入的误差；利用空间光调制器可精确的调制相位的特性，将物体位移量转化为空间光调制器对光束的相位改变量，由干涉条纹移动的数目和空间光调制器对光束的相位调制信息即可精确得到物体整体的位移，该方法对光束的相位调制更精细，可以达到更高的分辨率。