电子束去除硅中磷及金属杂质的工艺方法

摘要

本发明涉及一种电子束去除硅中磷及金属杂质的工艺方法，属于硅的纯化技术领域。本方法包括以下步骤：A、备料；B、抽真空；C、提纯：启动第一电子枪照射第一坩埚内的硅料，启动第二电子枪照射第二坩埚内的硅料；当第一坩埚及第二坩埚内硅料熔化为硅液后，向第一坩埚内输送硅料，第一坩埚内的硅料经第一电子枪照射熔化为硅液并流入第二坩埚，流入第二坩埚中的硅液经第二电子枪照射熔炼，第二坩埚中的硅液自下而上缓慢凝固，实现定向凝固；D、关闭电子枪；E、取锭。本发明将电子束熔炼硅材料去除磷杂质与定向凝固去除金属杂质有机的结合在一起，在一个过程中同步实现去除磷及金属杂质，同时大幅提高了生产效率，缩减生产流程。