基于波导集成型一维光子晶体微腔的超声波探测器

摘要

本发明公开了一种基于波导集成型一维光子晶体微腔的超声波探测器，包括可调谐激光器、波导集成型一维光子晶体微腔、光电探测器、超声换能器，可调谐激光器向波导集成型一维光子晶体微腔发激光，超声换能器向波导集成型一维光子晶体微腔施加超声波信号，光电探测器探测波导集成型一维光子晶体微腔的输出光强度。本发明采用波导集成型光学微腔实现超声波信号的检测，解决了传统基于压电技术的超声波探测器在高频信号检测下的困难，同时这种光声检测技术具有高集成度、极小的尺寸、廉价等优势。