一种纳米孔金薄膜的制作方法及应用该薄膜的硅基

摘要

本发明公开了一种纳米孔金薄膜的制作方法及应用该薄膜的硅基，包括待加工的硅片，微结构纳米孔金薄膜的制作方法包括以下步骤：在硅片的表面制作形成均匀的单层聚苯乙烯微球层，使用氧气等离子缩小聚苯乙烯微球的直径，保证微球间隙，在硅片上蚀刻出微结构，将聚苯乙烯微球层移出硅片的加工面，形成硅基，在硅基表面均匀覆盖一层金银合金薄膜，将金银合金薄膜中的银原子去除，形成微结构纳米孔金薄膜。本发明的有益效果是，通过在硅片的表面形成聚苯乙烯微球层，然后在硅基表面通过反应离子蚀刻出不同的硅基表面微结构的方法，将孔金薄膜铺设在不同微结构的硅基表面，经过比较可以简便的得到最优的用于拉曼光谱测量的孔金薄膜结构。