基于激光干涉的位移测量误差标定装置

摘要

本发明公开了一种基于激光干涉的位移测量误差标定装置，包括：测量对象模拟部件，包括棱镜，棱镜设置于测量对象模拟部件上并随测量对象模拟部件运动；激光干涉组件，与棱镜光路连接，并随测量对象模拟部件的运动产生激光干涉输出；待标定传感器探头，待标定传感器探头正对棱镜设置，测量待标定传感器探头到测量对象模拟对象的线性距离；拟合传感器输出和激光干涉输出得到传感器的非线性误差和非平行误差；测量对象模拟部件的运动为测量对象模拟部件绕转轴转动和测量对象模拟部件靠近或远离待标定传感器探头。该装置能够同时实现微推力微冲量测量中微小位移测量装置的非线性误差和非平行误差标定，具有较好的通用性。