基于激光干涉仪的位移传感器标定技术研究

摘要

为提高位移传感器的测量精度,研究了基于激光干涉仪的位移传感器标定方法,并搭建了标定系统,以激光干涉仪作为长度标准,设计了符合阿贝原则的机械结构,减小标定误差;开发了自动控制测量系统,实现被测传感器与标准干涉仪数据的连续、同步采集并输出误差曲线;建立了基于多点差值的误差修正模型,实现位移传感器误差的自动标定.以三角激光传感器为被测对象进行了实验,实验结果表明,经标定后被测传感器绝对误差减小50％以上.