传送垫以及使用该传送垫的传送装置和传送方法

摘要

本发明提供一种传送垫，其借助传送垫的吸附力或悬浮力，吸附和固定载置在一部分传送面上的传送物，或者悬浮该传送物从而对此进行非接触传送。本发明还提供一种使用该传送垫的传送装置和传送方法。本发明的传送垫(2)由连通着多个气孔的多孔性基板构成。通过对传送垫(2)的背面进行减压或加压处理，来吸附或悬浮载置在传送垫(2)表面的传送物(W)，且满足覆盖传送垫(2)表面的传送物的面积率α与导通率β之间的关系式。