公开/公告号CN108882464A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-23
原文格式PDF
申请/专利权人 合肥芯碁微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201810903927.4
发明设计人 魏云飞;
申请日2018-08-09
分类号H05B33/08(20060101);G03F9/00(20060101);
代理机构34115 合肥天明专利事务所(普通合伙);
代理人奚华保
地址 230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层
入库时间 2023-06-19 07:26:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-18
著录事项变更 IPC(主分类):H05B33/08 变更前: 变更后: 申请日:20180809
著录事项变更
2018-12-18
实质审查的生效 IPC(主分类):H05B33/08 申请日:20180809
实质审查的生效
2018-11-23
公开
公开
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