一种高灵敏度的中红外有源微环气体传感器

摘要

本发明公开了一种高灵敏度的中红外有源微环气体传感器，沿光路方向依次设有掺铥光纤激光器、第一红外单模光纤、气室、第二红外单模光纤和光谱分析仪，所述气室外部设有进气口和出气口，内部设有片上有源微环谐振腔，所述片上有源微环谐振腔包括衬底、下包层、直光波导、有源微环和介质层，所述下包层贴合在衬底上，所述介质层贴合设置在下包层上，所述直光波导和有源微环均设置在介质层上；本发明的一种高灵敏度中红外有源微环气体传感器采用有源微环谐振腔结构，并用掺杂稀土离子的硫系玻璃材料作为波导材料，结构简单、集成度高，利用有源微环谐振腔的高Q值可以实现对多种气体分子的高灵敏度检测。